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导入黏着式晶圆接合技术,SAW滤波器实现高良率封装

Date:2020/7/14

表面声波(SAW)滤波器尺寸再微缩。为满足行动装置轻薄设计的需求,SAW滤波器开发商正大量使用具高对位精准度的黏着式晶圆接合技术,藉此提高裸晶尺寸SAW封装(DSSP)制程良率,打造尺寸更小但滤波效能不减的新一代解决方案。

行动通讯持续快速成长,成长动能主要来自智慧型手机市场。智慧型手机中有一主要零组件为表面声波(SAW)滤波器,其中的机械波会在整个压电基板的表面传播,而先进接合腔(Cavity)之形成,是促成这种声波传播的关键步骤。先进的封装技术,尤其是已对位的黏着式晶圆接合技术,已成为建置各种最小尺寸晶片级SAW封装的主导技术。

  • 提升行动装置讯号品质,SAW滤波器扮要角

SAW滤波器在近年来呈爆炸性成长的行动通讯领域中占首要地位,因为它比石英晶体、感应滤波器和波导滤波器等其他滤波器技术,拥有更优异的滤波功能和小尺寸特性;尤其当缩小表面声波滤波器的尺寸时,可进一步让行动电话的体积变小,并可提升接收力和频谱效能。

封装制程是决定滤波器整体大小的主因。近年来CSSP(Chip Sized SAW Package)技术已成为举足轻重的SAW封装技术,其中,封装体的大小主要是由多层陶瓷决定。此外,全新的DSSP(Die Sized SAW Package)技术则可让封装体变得跟晶片一样小。

DSSP技术是适用于射频(RF)模组的理想作法,其中元件微型化和防止形成高模压力,都是这项技术带来的主要效能优势。在射频模组中,元件是透过表面黏着技术(SMT)进行组装,同时也会藉由传送模制法在外表形成一层护膜。DSSP元件可塑造高达100毫巴的压力,可为射频应用提供一个先进的解决方案。

SAW封装制程和微机电系统(MEMS)制程有很多相似之处,尤其是针对正确表面波传播所需接合腔的形成过程,这种腔封装可在功能性压电基板上用微影技术形成聚合物结构,再进行黏着式晶圆接合。