2023年10月20-23日，中国微米纳米技术学会第二十五届学术年会暨第十四届国际会议（简称CSMNT2023）在深圳市举办。左蓝微电子张博士受邀出席并在分会场作“射频MEMS与微系统技术发展与应用”相关报告。

CSMNT2023深度聚焦微米纳米及相关前沿领域的新技术、新成果、新突破、新趋势，通过开幕式、主会场大会报告、专题分会场、同期培训、论文征稿、技术展览会等多样化的交流活动，为国内外微纳米科技工作者搭建交流与合作的桥梁。

张博士在报告中指出：5G射频前端用的滤波器的制作工艺就是MEMS工艺，在射频前端模组中的成本占比超过50%，我们需要明确MEMS技术的重要性和必要性，在5G通信、物联网、自动驾驶等领域，MEMS器件的作用尤为重要，没有了MEMS技术，这些领域的发展都将受到严重阻碍。

经过多年的发展，MEMS已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。

此外，与传统的传感器相比，MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

5G的发展更加推动了MEMS传感器行业的增长，5G技术作为网络与通信行业的新兴技术，相对4G技术的智能化程度和资源整合程度更高，为MEMS提供了巨大的发展机遇。

数据显示，自5G商业化应用以来，截至2023年9月底,中国累计建成开通 5G 基站 318.9 万个，未来随着5G的渗透率提高，基站数量亦将增长。随着中国5G通信的发展，MEMS传感器在网络与通信行业中的应用也随之快速增长。预计到2026年，我国MEMS传感器在网络与通信行业的应用规模将突破500亿元。

不难看出，随着5G不断商用，物联网设备与设备之间的连接将变得更加顺畅，传感器也将被安装在越来越多的设备中。

在射频前端领域，SAW、BAW滤波器也都使用了MEMS技术。左蓝微电子通过自主创新的MEMS技术工艺，多年专注于高性能射频滤波器、双工器/多工器和射频前端模组的研发和销售，产品涵盖了SAW、TC-SAW、PESAW、PEBAW及射频模组等，近期也发布了B28F、B3、B25等多款高性能双工器产品。

我国MEMS技术尚处于发展阶段，但是要发展中国自己的MEMS技术，需要所有人共同努力，左蓝微电子也将持续深耕MEMS技术，为中高端领域射频MEMS器件的国产替代而努力。