高性能薄膜体声滤波器PEBAWTM是利用声学谐振实现电学选频的一类声学器件,采用微机械工艺制作而成,具有体积小、重量轻、插损小、矩形度好、可靠性高及易批量制造等优点。与标准微电子工艺兼容,可实现与RFIC的SoC集成。相比于传统LC、介质、LTCC滤波器和SAW滤波器,PEBAWTM滤波器可以同时兼顾小体积和高性能的要求,已被广泛应用于移动通信终端,基站和雷达系统等领域。
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